Forschungsprojekt : „H2Pioneer“: Grüner Wasserstoff für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie ist eine dynamische, technisch anspruchsvolle und wettbewerbsintensive Branche mit hohem Wachstumspotenzial. Infineon baut aktuell die Fertigungskapazitäten am Standort in Villach aus und investiert 1,6 Milliarden Euro in eine neue High-Tech Chipfabrik für Leistungselektronik („Energiesparchips“). Mit der Nachfrage nach Mikroelektroniklösungen steigt auch der Bedarf an in der Produktion benötigten Gasen und Chemikalien. Darunter ist auch hochreiner Wasserstoff als Prozessgas. Dieser Wasserstoff, der bisher per LKW aus Deutschland geliefert wurde, soll künftig direkt am Produktionsstandort von Infineon in Villach aus erneuerbaren Energien erzeugt werden.

Thomas Reisinger, Vorstand für Operations bei Infineon Technologies Austria, sieht die Wasserstoffanlage als integralen Bestandteil eines nachhaltigen Standortausbaus: „Eine ressourcenschonende Produktion ist heute ein wesentlicher Hebel auf dem Weg zur Klimaneutralität. Mit dem Produktionsstart unserer neuen Chipfabrik für Leistungselektronik Anfang August 2021 steigt auch der Bedarf an Wasserstoff für den Fertigungsprozess kontinuierlich. Mit der Umsetzung der Elektrolyse-Anlage am Infineon-Standort Villach sind wir für die Zukunft in zweierlei Hinsicht gerüstet: mit einem wichtigen Beitrag zum Klimaschutz wie auch der notwendigen Versorgungssicherheit.“

Die Industriepartner Linde, Infineon Technologies Austria und Verbund treiben gemeinsam mit ihren Forschungspartnern, der HyCentA Research GmbH, dem Energieinstitut an der Johannes Kepler Universität (JKU) Linz und der Vorzeigeregion WIVA P&G diese nachhaltige Lösung als wichtigen Schritt in Richtung einer „Tech for Green Industry“ voran. Das Projekt wird im Rahmen der FTI-Initiative „Vorzeigeregion Energie“ des Klima- und Energiefonds gefördert, dotiert aus Mitteln des Klimaschutzministeriums (BMK).

„Wasserstoff aus erneuerbaren Energien wird eine wichtige Rolle bei der Erreichung der Klimaneutralität bis 2040 spielen, gerade in der Industrie. Denn die Emissionen müssen in allen wirtschaftlichen Sektoren gesenkt werden“, sagt Klimaschutzministerin Leonore Gewessler. „Durch Investitionen und Förderungen in Energieinnovationen leisten die heimischen Industriebetriebe darüber hinaus einen wichtigen Beitrag zur wirtschaftlichen Erholung nach der Coronakrise”, so Gewessler weiter. Theresia Vogel, Geschäftsführerin des Klima- und Energiefonds, ergänzt: „Grüner Wasserstoff ist ein extrem knappes Gut. Dank H2Pioneer entsteht ein Leuchtturm, der international aufzeigt, welche Vorteile Wasserstoff für die Industrie bringt. Durch die beteiligten Partner, ein starkes und schlagkräftiges Konsortium, entsteht ein hochinnovatives Projekt, das ganz maßgeblich zur Reduktion von Treibhausgasen in Österreich beiträgt. Gleichzeitig eröffnet es heimischen Unternehmen Exportchancen auf dem Weltmarkt.“

Konkrete Umsetzung startet

Konstruktion, Bau und Betrieb der ersten Anlage zur Vor-Ort-Erzeugung von grünem Wasserstoff in der Halbleiterindustrie erfolgt aus einer Hand durch Linde, einem Spezialisten auf dem Gebiet der Wasserstofftechnologie. Die gesamte Anlage besteht aus einer containerisierten PEM-(Proton Exchange Membrane)Elektrolyseanlage, die Linde schlüsselfertig nach Villach liefert. Linde bereitet das dort produzierte Gas in einem kryogenen Verfahren auf, so dass hochreiner Wasserstoff für Infineon bereitgestellt werden kann. Darüber hinaus liefert Linde ein Flüssigwasserstoff-Versorgungssystem, um die Beliefe- rung der Halbleiterproduktion rund um die Uhr zu gewährleisten. Mittels nachhaltig erzeugten Stroms kann die Anlage bis zu 800 kg grünen Wasserstoff pro Tag herstellen. „Wir freuen uns, gemeinsam mit Infineon den Einsatz von grünem Wasserstoff in der Halbleiterindustrie voranzutreiben“, sagt Richard Hagenfeldt, Geschäftsführer der Linde Electronics GmbH. “Die langfristige nachhaltige Ausrichtung der Produktion ist für Linde von hoher Bedeutung, weil der Geschäftserfolg unserer Kunden und damit auch der eigene Erfolg davon abhängen. Der Einsatz unserer Anlagenexperten und unserer fortschrittlichen Technologien sind essentielle Bausteine, die zur nachhaltigen Energieerzeugung in der Halbleiterindustrie beitragen,“ so Hagenfeldt weiter.